Novo método de caracterização de ondulações em superfícies por difração de raios X

Abstract

Resumo: Um método simples com o uso de raios x para a obtenção dos valores da ondulação em superfícies planas é apresentado neste trabalho. Foram caracterizadas amostras de superfícies, incluindo um espelho fabricado para uso em linhas de luz síncrotron. A base do método é o alargamento do perfil de difração de um cristal analisador devido ao aumento da divergência causado pelas ondulações quando o feixe de raios x é refletido pela superfície. Foram analisadas quatro amostras com qualidade de superfície variada. Os experimentos mostraram como os diferentes níveis de qualidade podem ser obtidos com a óptica de raios x adequada. O método tem sensibilidade suficiente para suprir a demanda em qualidade dos espelhos da geração atual dos síncrotrons.

Abstract: A simple method with use of x-rays for measurement of the surface slope error is presented in this work. Surfaces samples were characterized, including a synchrotron beamline mirror. The base of the method is the perfect crystal rocking curve widening due to divergence increasing caused by surface waviness when the x-rays beam is reflected by the surface. Four samples with varied surface quality had been analyzed. The results show as the different surface quality levels can be analysed with the adequate optics. The method has sufficient sensitivity to satisfy the demand of mirrors quality for the current synchrotrons generation.